Präzisionsfertigung setzt kontrollierte Wasserqualität voraus

In der Elektronik-, Halbleiter- und Displayfertigung beeinflusst die Reinheit des Wassers direkt die Produkt yield und Leistung. Verunreinigungen, die während der Reinigung oder Spülung eingebracht werden, können die Zuverlässigkeit von Geräten beeinträchtigen, wodurch die Wasseraufbereitung zu einem Kernbestandteil der Prozesskontrolle und nicht zu einer sekundären Versorgung wird.

Das Robinson-System wurde entwickelt, um diese Anforderung durch eine vollständige Aufbereitungskette zu erfüllen, beginnend mit der Vorbehandlung und fortgesetzt durch die fortgeschrittene Reinigung. Das System soll Wasser liefern, das gemäß dem Hersteller die ASTM EW-I und EW-II Standards für elektronisches Wasser erfüllt.

Durchflusskonfigurationen decken einen breiten Produktionsbereich ab

Das System ist in einem breiten Kapazitätsbereich erhältlich, von 375 Gallonen pro Tag bis 288.000 Gallonen pro Tag. Dies entspricht etwa 0,06 Kubikmetern pro Stunde bis 45,4 Kubikmetern pro Stunde, wodurch Betreiber die Aufbereitungskapazität an die Produktionsnachfrage und Spitzenlasten anpassen können.

Die Auswahl der Kapazität hängt vom spezifischen Wasserbedarf der Produktionslinie und ihrem Spitzenlastprofil ab. Die Anpassung des Systems an diese Bedingungen soll den Betrieb innerhalb eines effizienten Bereichs halten, so der Hersteller.

Anwendungen umfassen Halbleiter, Displays und Elektronikkomponenten

Das System wird in Fertigungsschritten eingesetzt, bei denen die Wasserqualität eng kontrolliert wird. In der Halbleiter- und integrierten Schaltungsproduktion umfassen diese Schritte die Reinigung von Siliziumwafern, die Waferbearbeitung und das Hochreinspülen.

In der Displaytechnologie wird das System zur Reinigung von LCD-Oberflächen, zur Herstellung von Kathodenstrahlröhren, zur Glasreinigung und zur Phosphorherstellung eingesetzt. Die Elektronikkomponentenfertigung verwendet es zur Reinigung von Aluminiumfolien und Teilen für Elektrolytkondensatoren sowie zur Herstellung von Elektronenröhren und Kathodenstrahlröhren.

Die präzise Reinigung von elektronischen Materialien und Leiterplatten stellt einen weiteren Anwendungsbereich dar, wo das System für Wasch- und Benetzungsprozesse eingesetzt wird.

Systemdesign betont Prozessstabilität

Die Aufbereitungskette ist darauf ausgelegt, Verunreinigungen ab der Vorbehandlungsstufe zu kontrollieren, wobei Filtrations- und Reinigungsschritte zur Aufrechterhaltung der endgültigen Wasserqualität ausgelegt sind. Für Hochpräzisionsprozesse ist diese Konsistenz entscheidend für eine stabile Produktion und wiederholbare Ergebnisse.